設(shè)備介紹

掃描電子顯微鏡+電子束曝光

蔡司sigma300掃描電鏡用來(lái)觀察微米及亞微米級(jí)別的導(dǎo)電材料的材料表面結(jié)構(gòu)，用途廣泛。凝聚態(tài)方向主要用來(lái)檢查制作的微型電路，波導(dǎo)等材料的結(jié)果鑒定。

掃描電鏡搭載Raith電子束曝光軟件，可實(shí)現(xiàn)維型電路的設(shè)計(jì)和曝光，最大寫(xiě)場(chǎng)1000um，最高精度100nm。

性能指標(biāo)：分辨率：20nm---10kV，加速電壓：100V-30kV, 放大倍數(shù)：50-500K，探測(cè)器：二次電子探測(cè)器SE2，Inlens探測(cè)器和紅外CCD相機(jī)。 

主要應(yīng)用：適用于導(dǎo)電材料和非導(dǎo)電材料表面形貌的觀察，獲得表面形貌的二次電子像。 

樣品要求：固體非粉末干燥樣品，樣品表面干凈，無(wú)油污，無(wú)磁性，且不易被磁化，樣品中不得含有鐵（Fe）、鈷（Co）、鎳（Ni）。高度小于20mm，直徑小于50mm。 多孔類或易潮解的樣品，請(qǐng)?zhí)崆罢婵崭稍锾幚怼?樣品應(yīng)具有導(dǎo)電性。若樣品不導(dǎo)電，需要進(jìn)行鍍金、碳等導(dǎo)電膜的處理。 

注：文章轉(zhuǎn)載于上海交通大學(xué)物理與天文學(xué)院公告平臺(tái)《掃描電子顯微鏡&電子束曝光》